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十万级半导体无尘车间完工

2020-05-04 17:14:32

此项目为十万级半导体无尘车间

一、设计原则:1.合理投资:符合经济节约的原则,又满足各生产车间的工艺要求及对温度、湿度、洁净度、压差、照度、抗震及噪声等洁净环境的要求;

洁净车间

2.经济运行:考虑节约能源、运行可靠、维护简单,减少运行及维护费用;

3.安全可靠:洁净车间级别高、投入大、运行费用昂贵,因此给生产提供安全可靠的生产环境是至关重要的,要考虑到工艺的更新;

4.技术先进:采用先进的技术及工艺可以更好的达到要求及更好的适应生产的需要,也有利于节约能源;

5.灵活性:要考虑系统的工艺变更等因素对系统进行灵活的调整。

二、净化原理:洁净度的实现是通过布置在车间上的FFU高效过滤送风单元过滤,足够的换气次数来实现的,新风采用初效过滤后送入车间。另外为保证洁净室不被外界污染,洁净车间要维护一定的正压,其相对非净化区的静压差≥10Pa,正压是通过控制新风的供给量来保证的。三、空调风系统:洁净车间的空气循环是通过设置在吊顶内的空调机+末端FFU高效送风单元完成的。其气流组织采用上送下侧回。风系统只设回风管,回风管通过室内回风竖井将室内空气输送至FFU回风口来实现回风。

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